米国商務省傘下の国立標準技術研究所(NIST)CHIPS研究開発局は12月1日、次世代半導体向け極端紫外線(EUV)光源を開発するスタートアップ、エックスライト(xLight、本社:カリフォルニア州パロアルト)に対し、CHIPSおよび科学法(CHIPSプラス法)に基づき最大1億5,000万ドルを提供する意向表明書(LOI)に署名したと発表した。


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コネ姉さん
ついに米国政府が次世代EUV光源の開発に本格的に乗り出しましたわね。xLightへの最大1.5億ドル出資は、CHIPS法に基づく初のEUV関連支援案件で、しかも政府が株式を取得する形。これは相当本気ですわ。
セカくん
FEL方式って…レーザー生成プラズマ(LPP)じゃないんすね?てことは、今のASMLの光源をまるごと置き換える可能性があるってことっすか!?
ボス
ふむ…聞き慣れない技術だが、これが実現すれば何が変わるんだ?
コネ姉さん
自由電子レーザー(FEL)は、従来のLPP方式に比べて最大4倍の出力が可能なの。つまり、露光効率が劇的に向上して、チップ製造の歩留まりやコストに大きなインパクトを与えるのよ。
セカくん
しかも1台のFELでASMLのスキャナーを最大20台も動かせるって…それ、効率良すぎっす!年間数十億ドルの追加収益って話も、現実味あるっすね!
ボス
だが、ASMLはオランダ企業だろ?アメリカの企業が光源を外付けしても、主導権は変わらんのでは?
コネ姉さん
そこが戦略的なんですのよ。ASMLに依存せず、米国独自の技術で露光性能を高めることで、装置産業の支配構造に風穴を開けようとしてるの。供給網の多様化でもあるわ。
セカくん
2028年からニューヨークで実証開始ってことは、インテルやTSMCの米国内ファブと連動してきそうっすね。CHIPS法でインフラも整ってきてるし、タイミングもバッチリっす!
ボス
ふむ…ただでさえEUVは高価で難しい技術だ。プロトタイプから本格導入まで、そんなにスムーズにいくのか?
コネ姉さん
技術リスクはあるけど、FELの研究自体は長年進んできたの。今回は商用応用の初期フェーズ。米国は製造装置産業の“逆転”を狙って、本腰を入れてるのよ。
セカくん
今まで先端リソグラフィは日本やオランダがリードしてたけど、ここに来てアメリカもプレーヤーとして本気参入ってわけっすね!
ボス
ふむ…要するに、半導体の覇権をめぐる次の争点は「EUVの光源」になる可能性があるというわけだな。
コネ姉さん
まさにそこがポイントですわ。EUVの次世代化は、製造速度・コスト・エネルギー効率にも直結するから、次のチップ製造競争のカギになるの。注目すべき動きね。
セカくん
日本の装置メーカーや部材メーカーも、このFEL構想にどう絡めるかでチャンスもありそうっすね!見逃せないニュースっす!
ボス
ふむ…最先端の技術戦争は、もう国家レベルの投資と戦略が必要というわけだ。まさに地政学的技術競争ということだな。